【摘 要】
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硅扩散型力敏器件是一种新型半导体器件。本文从设计要求及理论角度介绍低差压硅集成压力传感器。
Silicon diffusive force-sensitive device is a new type of semiconduc
【机 构】
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大连工学院,大连工学院,大连工学院,
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硅扩散型力敏器件是一种新型半导体器件。本文从设计要求及理论角度介绍低差压硅集成压力传感器。
Silicon diffusive force-sensitive device is a new type of semiconductor device. This article describes the design requirements and theoretical point of view low pressure silicon integrated pressure sensor.
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