【摘 要】
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XY平台直线伺服系统中，负载扰动、机械惯性及双轴响应速度不匹配会影响轮廓加工精度，为此提出了一种将PDFF及H∞交叉耦合控制相结合的控制策略。单轴速度控制器采用兼顾快速性
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XY平台直线伺服系统中，负载扰动、机械惯性及双轴响应速度不匹配会影响轮廓加工精度，为此提出了一种将PDFF及H∞交叉耦合控制相结合的控制策略。单轴速度控制器采用兼顾快速性和鲁棒性的PDFF控制．间接减小轮廓误差。并在X、Y轴间引入交叉耦合控制，将基于PDFF的XY平台交叉耦合控制框架等效为一反馈系统，采用H∞次优方法设计交叉耦合控制器，直接减小轮廓误差。仿真结果表明该控制方案可增强系统的鲁棒性，提高系统的快速性和轮廓加工精度。
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