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高阻半导体薄层电阻测定方法研究
高阻半导体薄层电阻测定方法研究
来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sjtygk
【摘 要】
:
本文提出了高阻半导体薄层电阻的一种测量方法。将待测样品用平面技术制备成矩形,薄层电阻由所加直流电压和电流指示算出。测量精度取决于欧姆接触的保证及电表精度,由薄膜厚
【作 者】
:
翟冬青
王英民
【机 构】
:
河北大学电子系; 河北大学电子系;
【出 处】
:
河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1983年01期
【关键词】
:
欧姆接触电极
肖特基势垒
LPCVD
电阻率值
半绝缘多晶硅
热氧化方法
直流电压
多晶硅薄膜
测定方法研究
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本文提出了高阻半导体薄层电阻的一种测量方法。将待测样品用平面技术制备成矩形,薄层电阻由所加直流电压和电流指示算出。测量精度取决于欧姆接触的保证及电表精度,由薄膜厚度的精确控制和测量,可精确测定薄膜电阻率。
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