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高频相位测量装置是激光轮廓测量仪不可缺少的一部分，它完成的工作是对两路被测信号进行相位测量。文中介绍了一种用混频原理和锁相环技术将高频转化为低频，并且用相关计数法对低频相位进行测量的方法。低频部分主要是利用了单片机丰富的软硬件资源和CPLD器件灵活多用功能来实现的。通过混频电路和低频相位测量电路的组合，能较高精度地完成此相位测量任务。