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<正> 本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应的圆片加工区的空气含尘浓度C值。
超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测
【摘 要】
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<正> 本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应
【机 构】
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电子工业部第十一设计研究院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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1998年3期
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