【摘 要】
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采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显微干涉计量 ,光路简洁 ,调整方便。用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形
【机 构】
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中国科学技术大学力学与机械工程系!合肥230027,中国科学技术大学力学与机械工程系!合肥230027
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采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显微干涉计量 ,光路简洁 ,调整方便。用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形状。实验结果表明视频显微镜可应用于各种显微干涉计量场合
The use of video microscope as a tool for microscopic imaging and electronic recording microscopic interference measurement, optical path is simple, easy to adjust. The in-plane deformation, the out-of-plane displacement and the shape of the object were measured respectively by using the micro-moire interference system and the microscopic speckle interference system. The experimental results show that video microscope can be used in a variety of microscopic interferometry occasions
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