【摘 要】
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利用椭圆偏振光谱仪测定了无定形硅在可见光范围的光学常数.对不同工艺条件下由射频溅射制备的无定形硅样品进行测量,获得了n-λ、k-λ关系的数据,并由此计算出光学能隙、介
【机 构】
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中山大学物理系,中山大学物理系,中山大学物理系
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利用椭圆偏振光谱仪测定了无定形硅在可见光范围的光学常数.对不同工艺条件下由射频溅射制备的无定形硅样品进行测量,获得了n-λ、k-λ关系的数据,并由此计算出光学能隙、介电常数和反射率.文中还比较和讨论了本实验结果与别人用反射率法测得的蒸发制备无定形硅的结果.
The optical constants of amorphous silicon in the visible range were measured by ellipsometer.The data of n-λ, k-λ were obtained by measuring amorphous silicon samples prepared by radio frequency sputtering under different process conditions The optical energy gap, the dielectric constant and the reflectivity were calculated.The results of this experiment and those obtained by evaporation by evaporation were compared and discussed in this paper.
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