【摘 要】
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随着靶功率减小等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）ＴｉＮ涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展。靶功率对膜层硬度的影响主要是膜层相组成变化而引起的，由Ｔｉ＿２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的膜硬度最高
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随着靶功率减小等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）ＴｉＮ涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展。靶功率对膜层硬度的影响主要是膜层相组成变化而引起的，由Ｔｉ＿２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的膜硬度最高。由Ｔｉ＿２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的刀具涂层使切削力下降，明显提高刀具耐用度。
With the decrease of target power, the phase composition of plasma enhanced magnetron sputter ion plating (PEMSIP) TiN coating is toward the nitrogen-rich phase and its content increases. The effect of target power on the hardness of the film is mainly caused by the change of the phase composition of the film. The film composed of two phases of Ti 2 N and TiN has the highest hardness. Tool coating consisting of two phases of Ti_2N and TiN reduces the cutting force and significantly increases tool durability.
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