基于SEM-SPM原位纳米压痕超薄铜薄膜弹性模量研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chf012183

【摘要】

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本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方式对40、60和80nm超薄铜薄膜弹性模量的影响

【作者】

：

赵波慧刘燕萍马晋遥王晋吕俊霞张跃飞

【机构】

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太原理工大学机械工程学院,北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京工业大学激光工程研究院

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2017年5期

【关键词】

：

原位纳米压痕超薄薄膜弹性模量赫兹理论铜薄膜

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本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方式对40、60和80nm超薄铜薄膜弹性模量的影响。基于赫兹理论和King模型的计算结果表明,利用DCMS得到不同厚度铜薄膜的弹性模量值在(95±2)Gpa~(125±4)GPa之间,而通过ALD得到的铜薄膜弹性模量值在(99±2)Gpa~(154±6)GPa之间。对比分析可知,不同厚度的铜薄膜弹性模量比块体铜材料的弹性模量(9

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