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介绍了四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）溶液的腐蚀特性，论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中，ＴＭＡＨ腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通信大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件，取得了较好的腐蚀结果。
TMAH在压力传感器制作中的应用
【摘 要】
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介绍了四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）溶液的腐蚀特性，论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中，ＴＭＡＨ腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通信大量的实验得到
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金!69876027
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