采用高真空／快速热处理／化学气相淀积外延SiGe HBT结构

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangxq198

【摘要】

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采用新近研制的高真空／快速热处理／化学气相淀积（HV／RTP／CVD）系统生长了应变SiGe材料．通过仔细设计的处理过程可以得到器件质量的材料．Ge组分可以变化至0.25，可以得到控制良好的n型和p

【作者】

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贾宏勇林惠旺陈培毅钱佩信

【机构】

：

清华大学微电子所,

【出处】

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城市道桥与防洪

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

化学气相淀积 SiGe HBT

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采用新近研制的高真空／快速热处理／化学气相淀积（HV／RTP／CVD）系统生长了应变SiGe材料．通过仔细设计的处理过程可以得到器件质量的材料．Ge组分可以变化至0.25，可以得到控制良好的n型和p型掺杂层，适用于异质结双极型晶体管(HBT)的制作．研究了SiGe HBT的n-Si／i-p＋-i SiGe／n-Si结构．所制作出的微波HBT性能良好，证明了设备和工艺的水平．

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