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用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在氧化铝陶瓷衬底上成功地制备出具有[100]织构的金刚石薄膜，并对该薄膜进行了X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和Raman光谱分析。由于氦原子具有高的电离能，因此本工作在反应气氛中引入了少量的氦，以提高氢等离子体的刻蚀效率。实验结果表明，少量氦气的引入促进了等离子体对非（100）面的选择性刻蚀，从而也有利于金刚石薄膜的[100]织构生长。