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期刊论文
基于特征函数的空间点光强的快速算法
基于特征函数的空间点光强的快速算法
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liucheng333
【摘 要】
:
讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法,即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法,并提出了优化的N的取值方案。该
【作 者】
:
周珂
陈晔
沈珊瑚
史峥
【机 构】
:
浙江大学电气工程学院
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
空间点光强
Hopkins公式
特征函数
SOCS
spatial point intensity
Hopkins equation
eigenfuncti
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讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法,即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法,并提出了优化的N的取值方案。该方案充分考虑了光刻系统参数对N的取值影响。实验结果证明,采用新的N取值方案的近似算法是一种高精度的算法。
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