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面对晶片制造对于异形晶片倒角工艺的新需求,介绍了异形晶片倒角设备的整体设计及倒角工艺流程,研究了异形晶片视觉处理和倒角路径自生成等关键技术。通过自主研发的倒角机进行异形晶片倒角实验,结果表明研发的倒角机实现了异形晶片倒角工艺,倒角精度满足工艺要求。
异形晶片倒角设备的设计及实现
【摘 要】
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面对晶片制造对于异形晶片倒角工艺的新需求,介绍了异形晶片倒角设备的整体设计及倒角工艺流程,研究了异形晶片视觉处理和倒角路径自生成等关键技术。通过自主研发的倒角机进
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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山西省科技重大专项项目(20191102010)
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