在锗基底上采用离子辅助淀积的宽带减反射膜

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在220℃温度的锗基底上,采用或未采用离子辅助淀积片镀制了五种宽带减反射膜.在这些膜上进行1.06μm波长、0.1μm脉冲的激光损伤阈值的测量.在氩离子轰击下淀积的锗膜显示出较高的激光损伤阈值,所以,锗基底上的减反射膜具有更强的牢固度. Five wideband antireflection films were plated on germanium substrates with and without ion-assisted deposition at a temperature of 220 ° C. Laser damage thresholds of 1.06 μm wavelength and 0.1 μm pulses were measured on these films.With argon ion The germanium film under bombardment shows a higher laser damage threshold, so the anti-reflection film on the germanium substrate has a stronger fastness.
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