200 kV非线性强流加速管的离子光学设计

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一、问题的提出研制强流离子注入机的关键,除了要有强流离子源外,主要是克服束流传输过程中的空间电荷效应问题。为此,我们研究非线性强流加速管,来克服强流束在加速管中的空间电荷效应。 First, the issue proposed Development of strong ion implanter key, in addition to have a strong stream ion source, the main problem is to overcome the beam charge in the process of space charge effect. For this reason, we study the nonlinear strong current accelerating tube to overcome the space charge effect of the intense beam in the accelerating tube.
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