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本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法，叙述了扩展电阻法测量结深的原理，并对其测量结果进行了分析和讨论。
扩展电阻法测量亚微米器件的结深和杂质分布
【摘 要】
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本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法，叙述了扩展电阻法测量结深的原理，并对其测量结果进行了分析和讨论。
【机 构】
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东南大学无锡分校,华晶公司
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1998年3期
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