【摘 要】
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本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法,叙述了扩展电阻法测量结深的原理,并对其测量结果进行了分析和讨论。
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本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法,叙述了扩展电阻法测量结深的原理,并对其测量结果进行了分析和讨论。
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