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本文利用磁控反应溅射技术制备氮化钽薄膜,对磁控反应溅射制备氮化钽薄膜的工艺参数(包括氮分压比、加热温度、溅射压力、溅射电流)用正交设计进行优化。研究表明,影响氮化钽薄膜结合力的主要因素为溅射压力和加热温度,氮分压比、溅射电流为次要因素;氮分压对氮化钽薄膜的硬度影响较大。动态凝血及血小板粘附实验研究表明,氮化钽薄膜的血液相容性性能优于热解碳(LTIC)。