解决漏电流问题已刻不容缓

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采用65nm制造LSI时,电流将难以控制地大量泄漏出来,这种警告之声越来越高.问题的是,这些电流并不是LSI工作所需的电流,即使在LSI不工作的情况下,也会出现漏电流.LSI工作频率越高,这种漏电流就越大.随着半导体工艺的微细化发展,漏电流会更大(见图1).
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