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论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。
硅片自动传输系统软硬件设计
【摘 要】
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论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2000年1期
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