现代光刻机的发展历程与未来展望

来源 :微纳电子与智能制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jljc123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在过去的30多年,集成电路芯片的制造工艺通过不断减小芯片特征尺寸来提高芯片性能、降低芯片成本,而其中的光刻工艺一直是实现特征尺寸缩小的主要推动技术。光刻工艺中的细小图形需要通过光刻机来制作。可以说,光刻机的发展历程与芯片制造工艺需求息息相关。早期的光刻机是接触、接近式,极限分辨率周期约为1.5μm。随着技术节点的不断发展,线宽逐渐缩小,光刻机也由之前简单的接触、接近式结构发展到采用投影物镜成像的结构,即采用一个成像物镜将掩模版上的图形按照一定比例缩小投影到硅片上的光刻胶薄膜上,以获得更高的分辨率与更低的缺陷率。投影式光刻机的成像比例一般是4∶1。目前深紫外光刻机和低数值孔径的极紫外光刻机的极限分辨率周期分别约为76 nm和26 nm。本文以各主流逻辑技术节点中关键层次的设计规则为主线,通过总结各技术节点的工艺窗口,描绘相应的投影式光刻机从g线、i线到氟化氪(Krypton Fluoride,KrF)(248 nm)、氟化氩(Argon Fluoride,ArF)(193 nm)、ArF水浸没式光刻机,最后到最先进的投影式光刻机——极紫外光刻机的发展历程。并详细介绍各个阶段投影式光刻机的重要架构和功能模块,例如光源、照明系统、投影物镜、工件台材料和悬浮方式以及传感器类型等等,并对各个阶段光刻机的各技术指标进行分解。同时也整理了每个阶段光刻机引入的关键技术,尤其是与深紫外光刻机差异较大的极紫外光刻机中的特征技术。
其他文献
永磁电机因其效率高、功率密度高、调速范围广等优点被普遍应用于轨道交通车辆、电动汽车等牵引领域。永磁体作为永磁电机重要组成,其状态的变化会影响电机输出性能。在高温与电枢反应的共同作用下永磁体可能会发生不可逆失磁故障,甚至使电机失去牵引能力。永磁电机中的永磁体特性不仅取决于永磁材料本身,还与永磁体温度、电枢反应、运行工况等外部因素相关。因此研究基于全域工况下由于永磁体状态特性变化所引起的电机参数变化,
学位
作为全世界女性发病率最高的恶性肿瘤,乳腺癌已经严重危害女性的健康。近年来尽管乳腺癌的治疗方案已经不断完善,但乳腺癌伴转移患者的总生存率仍然较低。乳腺癌具有对不同器官转移的倾向,包括骨、肺、肝和脑,发生骨转移的比例约占乳腺癌远端转移总数的75%,其中Luminal型乳腺癌最易发生骨转移。因此,探明Luminal型乳腺癌骨转移的分子机制,将为乳腺癌骨转移的早期诊断和治疗奠定基础。外泌体是几乎所有细胞均
学位
<正>集成电路是现代工业的基础。光刻机是集成电路制造的核心装备,其技术水平决定了集成电路的集成度。几十年来,光刻机曝光波长从436 nm可见光波段减小到193 nm深紫外波段,再到目前最短的13.5 nm极紫外波段。投影物镜的数值孔径从初期的0.28增大到干式光刻机的0.93,再到浸液式光刻机的1.35。
期刊
电机是一种经典且常见的机电设备,不论是高精尖的航天器还是日常生活中的玩具车,这些都离不开电机的参与。尤其在工业领域,电机更是极其重要的能源转换装置。但是由于种种原因,比如自然老化、制造缺陷或者工作环境恶劣,或是其他因素的影响,导致电机发生故障。这就会导致许多问题,轻则损耗过多电能,重则造成巨大的安全隐患。故针对电机的故障诊断问题具有非常高的实际意义。转子断条故障是一种在工业生产运行中常见的电机故障
学位
<正>2月4日,元宵节前夕,曲沃县晋都文化会展中心公共大厅内灯笼高挂,人头攒动,众多市民踊跃参与“迎新春·倡清廉·有奖灯谜‘廉廉’猜”活动,现场气氛喜庆而热闹。此次“有奖灯谜‘廉廉’猜”活动由曲沃县新时代文明实践中心、曲沃县纪委监委、曲沃县文旅局等单位联合举办,共设灯谜千余条,其中涵盖党的二十大精神、党纪法规、廉洁文化的灯谜300余条,
期刊
【目的】以西藏林周县牦牛为研究对象,探讨西藏林周县不同年龄(3岁、4岁、5岁和6岁)牦牛不同部位(西冷、上脑和米龙)营养指标和挥发性风味物质组成差异。【方法】根据食品国家安全标准所述方法及气相色谱-质谱联用系统分别测定氨基酸、脂肪、蛋白质、水分、脂肪酸含量和挥发性风味物质相对含量。【结果】酪氨酸和苯丙氨酸含量在4岁牦牛米龙部位有上调趋势(P<0.1)。不同牦牛群体西冷部位甘氨酸含量有变化(P<0.
期刊
凸度与厚度是衡量带钢热连轧生产品质的重要评价指标而精轧机组穿带后的头部命中率则直接影响自动厚度控制(AGC)的控制效果。轧制过程的复杂性、被控对象的非线性、时变性使得传统的控制系统无法满足更高品质带钢的生产需求,而先进厚控技术的引入再次实现了热连轧控制系统的跨越式进步。本文以鞍钢1700ASP热连轧生产线为实验平台,将提升全长控制品质和精度作为目标,针对传统热连轧控制方式存在的缺陷,以板带轧机基本
学位
乘务计划作为城市轨道交通运营组织的重要组成部分,是保证行车安全和运营效率的重要环节。乘务计划编制分为乘务排班计划与乘务轮班计划两步,其中乘务排班计划作为第一步,其编制结果影响了后续乘务轮班计划编制的难度与质量。在实际的运营实践生产中,线路管理部通常会根据个人经验对乘务排班计划进行手工编制,其所需时间长,且难以适应运营突发情况。目前乘务计划编制人员通常考虑的目标是在尽量满足当前约束的情况下,如何更少
学位
随着城市地铁运营线路的陆续开通和线路新增,城市轨道交通线网逐渐演变成复杂网络。在网络结构形成的同时,面对不同类型的事故时也会产生运营影响程度放大的现象,对整体系统的安全性和可靠性造成极大威胁。本文首先梳理国内外城市轨道交通发生的事故案例,建立了事故致因模型。模型中通过梳理每一条事故背后的风险传递路径,建立具有普适性的事故致因因素集,分析复杂网络特性得到因素之间的有向关系和耦合关系,针对关键节点和最
学位
基于2011—2019年中国243个城市的面板数据,从技术进步与结构转型视角实证检验了数字经济对城市节能减排的影响。研究发现,数字经济对节能减排的影响具有双重性,其在显著增加城市电力消耗和二氧化碳排放规模的同时也降低了电力消耗和二氧化碳排放的强度。机制检验表明,数字经济在推动绿色技术进步的同时也增加了城市电力消耗和二氧化碳排放规模,其原因在于绿色技术创新的能源回弹效应超过了绿色技术效率改善的节能效
期刊