金属薄膜电阻特性与厚度测量

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考察不同沉积时间的金属铝与铜的薄膜的沉积态,电阻变化与厚度,厚度测量采用实验室光学干涉和透过率对比方法。金相显微与铝铜电阻变化的测量表明,不连续薄膜与连续过渡之间,电阻显著变化处不同,铝膜电阻随时间变化过程开始时存在波动状态。
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