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分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差，给出了修正系数及实验结果。
用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
【摘 要】
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分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差，给出了修正系数及实验结果。
【机 构】
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天津大学物理系,首都师范大学
【出 处】
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首都师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年2期
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