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期刊论文
用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析
来源 :首都师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qianxr
【摘 要】
:
分析了国产6JA型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果。
【作 者】
:
周佩瑶
徐玉兰
【机 构】
:
天津大学物理系,首都师范大学
【出 处】
:
首都师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
干涉显微镜
薄膜
厚度
误差
测量
interfero microscope
thin film
thickness
wavelength
error.
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分析了国产6JA型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差,给出了修正系数及实验结果。
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