【摘 要】
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本文对不同衬底材料上 PZT铁电体材料钙钛矿相的形成 ,及其相变温度与结构的关系进行了研究。结果表明 :PZT膜的相变结构除受衬底影响外 ,在由非晶相或烧绿石相向铁电钙钛矿
【机 构】
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本文对不同衬底材料上 PZT铁电体材料钙钛矿相的形成 ,及其相变温度与结构的关系进行了研究。结果表明 :PZT膜的相变结构除受衬底影响外 ,在由非晶相或烧绿石相向铁电钙钛矿相的转化过程中温度对相变的影响尤为显著。
In this paper, the formation of perovskite phase of PZT ferroelectric material on different substrate materials and the relationship between its phase transition temperature and structure were studied. The results show that in addition to the influence of substrate, the phase transition structure of PZT film is particularly affected by the temperature during the transformation from amorphous phase or pyrochlore phase to ferroelectric perovskite phase.
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