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讨论了Ｓｍａｒｔ Ｓｅｎｓｏｒ与ＭＥＭＳ的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。
Smart Sensor与MEMS
【摘 要】
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讨论了Ｓｍａｒｔ Ｓｅｎｓｏｒ与ＭＥＭＳ的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。
【机 构】
：
天津大学电子信息工程学院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2000年5期
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