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气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下，采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出变容室内气体的压力、体积变化、温度等参量；并在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在±０．０１％之内；工作软件实现了对气体微流量标准装置的计算机自动化控制和管理。气体微流量标准装置可以校准１７．１￣１．２２×１０＾－５ＰａＬ／ｓ范围内的气体流量，校准不确定度小于１．９３％；目前它已用于标准