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介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统
介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统
来源 :自动化与仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hnwkn2008
【摘 要】
:
本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批量生产.
【作 者】
:
吕炜
刘勤贤
【机 构】
:
杭州萧山机场,浙江工业大学之江学院
【出 处】
:
自动化与仪表
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
单晶炉
提拉速度
速度控制系统
单晶硅
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本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批量生产.
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