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采用联系离子层沉积法,在透明的TiO2纳米管阵列薄膜上沉积CdS,制备CdS敏化TiO2纳米管阵列薄膜光阳极材料。通过改变沉积液的溶剂和控制沉积次数,研究不同量的CdS对TiO2纳米管薄膜的光电性能的影响。结果表明,在以乙醇、甲醇/水为溶剂的条件下,循环沉积4次后制备的CdS/TiO2光阳极表现最好的光电转换效率。