Integrated Gas Sensor Based on MEMS

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zkteacher

【摘要】

：

<正>Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al_2O_3 new type membrane based on MEMS.CH_4 gas sensing unit and CO gas

【作者】

：

Hongquan Zhang Tong Zhang Lika

【机构】

：

HarbinUniversityofScienceandTechnology,AutomobileElectronicEngineeringTechnologyResearchandDevelopme

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

【基金项目】

：

Acknowledgment： The authors would like to thank the financial support of the NSFC project （No.60272002） and 973 project （No. 2003cee 01100）

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<正>Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al_2O_3 new type membrane based on MEMS.CH_4 gas sensing unit and CO gas sensing unit were fabricated separately on 4 unit array style suspending bridge structure

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