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软X射线激光技术在近年来得到较快的发展，而多层膜是其不可缺少的一项基础技术，软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构需达到很高的水平。现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究，以期得到更加精确的膜层结构。
软X射线激光多层膜均匀性控制技术
【摘 要】
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软X射线激光技术在近年来得到较快的发展，而多层膜是其不可缺少的一项基础技术，软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构需达到很高的水平。现就软X射线激光多层膜的均匀
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械研究
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2001年5期
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