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RF MEMS的关键技术与器件
RF MEMS的关键技术与器件
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhusimeng
【摘 要】
:
文章介绍了RF MEMS的基本概念、基本特征与关键工艺技术。文章在介绍了RF-MEMS元器件的基础上,对RF MEMS与MMIC进行了比较,分析了RF MEMS需解决的重点问题。最后对RF MEMS的发
【作 者】
:
夏牟
郝达兵
【机 构】
:
徐州空军学院,南京电子器件研究所
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
RF
MEMS
加工技术
元器件
MMIC
RF MEMS Key Process Devices MMIC
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文章介绍了RF MEMS的基本概念、基本特征与关键工艺技术。文章在介绍了RF-MEMS元器件的基础上,对RF MEMS与MMIC进行了比较,分析了RF MEMS需解决的重点问题。最后对RF MEMS的发展前景进行了展望。
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