Study of a ZnO/36° LiTaO3 SAW Biosensor with Gold Sensitive Layer

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hellokitty420
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<正>The mass sensitivity of a layered surface acoustic wave (SAW) device,ZnO/36°LiTaO_3,has been studied.Gold layers of different thicknesses were deposited to form the protein-sensitive layer,in order to compare the responses to biological mat
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