RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wbgbg

【摘要】

：

桥膜弹性系数是影响RF MEMS开关启动电压的重要参量.对RF MEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构.考虑桥膜上实

【作者】

：

邵雯雯惠春徐爱兰

【机构】

：

薄膜与微细技术教育部重点实验室

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

电子技术 RFMEMS开关桥膜驱动电压弹性系数 electronic technologyRF MEMS switchbridgeactuation vo

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桥膜弹性系数是影响RF MEMS开关启动电压的重要参量.对RF MEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构.考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式.根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压.

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