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评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性。对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形 MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍
基于快速成形的MEMS微制造技术
【摘 要】
：
评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2002年20期
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