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期刊论文
基于快速成形的MEMS微制造技术
基于快速成形的MEMS微制造技术
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:revire
【摘 要】
:
评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性
【作 者】
:
潘开林
陈子辰
付建中
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2002年20期
【关键词】
:
快速成形
微制造
微机电系统
微细立体光刻
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评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性。对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形 MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍
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