【摘 要】
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通过在三角势垒近似下求解薛定谔方程，应用费米统计建立了ＭＯＳＦＥＴ亚阈区经典的和量子力学的载流子分布模型，并从器件开启的实质出发，提出了一种适用于量子力学理论的开启电压定义，进而计
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通过在三角势垒近似下求解薛定谔方程，应用费米统计建立了ＭＯＳＦＥＴ亚阈区经典的和量子力学的载流子分布模型，并从器件开启的实质出发，提出了一种适用于量子力学理论的开启电压定义，进而计算了经典理论和量子力学理论下的亚阈区载流子分布和亚阈区电流，系统研究了量子化效应对深亚微米ＭＯＳＦＥＴ亚阈区特性的影响。计算结果表明：在高掺杂浓度衬底时，量子化效应导致载流子浓度和亚阈区电流的显著降低和开启电压的升高，而对亚阈区斜率因子（Ｓ）没有明显的影响。因此在深亚微米ＭＯＳＦＥＴ器件亚阈区特性的模型工作和器件设计中，必须考虑量子化效应的影响。
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