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本文从最基本的角度出发,介绍了亚微米分步重复投影光刻机中的一项新的检测技术——基准校正技术。简要地说明了该项技术的重复性、必要性和最新发展趋势。更多还原
基准校正技术概述
【摘 要】
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本文从最基本的角度出发,介绍了亚微米分步重复投影光刻机中的一项新的检测技术——基准校正技术。简要地说明了该项技术的重复性、必要性和最新发展趋势。更多还原
【机 构】
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中科院光电技术研究所成都610209
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年2期
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