【摘 要】
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利用硅平面工艺,不但可实现电路集成化,而且可使传感器一体化。本文对传感器领域中的科研工作做了全面的评述并着重介绍了测量系统和信号转换;同时对传感器未来的发展前景做
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利用硅平面工艺,不但可实现电路集成化,而且可使传感器一体化。本文对传感器领域中的科研工作做了全面的评述并着重介绍了测量系统和信号转换;同时对传感器未来的发展前景做了一些论断和展望。
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