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半导体晶圆不断向大直径方向发展，内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求，随着多线锯切割技术的完善，多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析，同时对铜线张力、切削进给运动进行了理论分析。
多线切割机的切割运动分析
【摘 要】
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半导体晶圆不断向大直径方向发展，内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求，随着多线锯切割技术的完善，多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年2期
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