【摘 要】
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由硅制造的能承受15000g的微型惯性传感器,有望将非制导炮弹变成”灵巧”制导炮弹,还可用于微型飞行器的自动驾驶仪中.然而,目前由硅制造的微机电系统(MEMS)角速率传感器的精
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由硅制造的能承受15000g的微型惯性传感器,有望将非制导炮弹变成”灵巧”制导炮弹,还可用于微型飞行器的自动驾驶仪中.然而,目前由硅制造的微机电系统(MEMS)角速率传感器的精度还低于用石英制造的类似传感器.在美国电气与电子工程师学会发起的于加州帕尔姆泉举行的定位与导航研讨会(PLANS)上,科研人员报告了MEMS的最新发展及其现在的技术状态.这些报告涉及下列内容:
Micro-inertial sensors, made of silicon that can withstand 15,000 g, are expected to transform non-guided shells into “smart” guided projectiles and may also be used in autopilots for micro-aircraft. However, MEMS-based MEMS angles Rate sensors are also less accurate than similar sensors made of quartz, and scientists report on the latest developments in MEMS and the introduction of the Institute of Electrical and Electronics Engineers Orientation and Navigation Symposium (PLANS) in Palmer Springs, Calif. Its current state of technology.These reports cover the following:
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