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溅射镀膜作为薄膜混合集成电路的重要环节,在厂商要求保证工艺质量的前提下,希望提高设备的自动化程度,减少靶间污染。介绍了一种用于磁控溅射镀膜设备,着重介绍了该系统关键部件溅射镀膜腔室和真空机械手腔室;该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究,该系统能满足生产线的生产要求。
全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究
【摘 要】
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溅射镀膜作为薄膜混合集成电路的重要环节,在厂商要求保证工艺质量的前提下,希望提高设备的自动化程度,减少靶间污染。介绍了一种用于磁控溅射镀膜设备,着重介绍了该系统关键
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年1期
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