论文部分内容阅读
运用了一种新效应一介观压阻效应，以AIAs／GaAs／AIAs共振隧穿双势垒（DBRT）结构薄膜作为力敏元件，设计了一种压阻式微位移传感器。通过分析、计算和模拟得到了它的输入、输出特性和灵敏度，把它与同类传感器做了比较，结果显示：DBRT结构可以提高灵敏度、调节灵敏度。为设计介观压阻式微位移传感器提供了理论依据。