一种MEMS热微执行器的设计与制作

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ren_lian

【摘要】

：

介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提

【作者】

：

杨静高建忠赵玉龙蒋庄德

【机构】

：

西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

微机电系统热微执行器阵列有限元 MEMSthermal micro-actuatorarrayFEM

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介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列.

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