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微电子技术的迅猛发展和集成化程度的急速提升,致使铁电/压电薄膜材料愈来愈受到人们的关注与重视。本文从三方面介评了铅基和铋类铁电/压电薄膜材料的研究进展:(1)主要制备方法:脉冲激光熔融法(PLD)和金属有机物分解法(MOD);(2)无铅铁电/压电薄膜微器件:铁电薄膜存储器和压电薄膜传感器;(3)铁电/压电薄膜及其微器件的可靠性。