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KLA-Tencor公司日前推出了Surfscan SP2XP，这是一套专供集成电路（IC）市场采用的全新控片检测系统，该系统是根据去年在晶片制造市场上推出并大获成功的同名姊妹机台开发而成。全新的Surfscan SP2XP对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高，且与其上一代业界领先的产品Surfscan SP2相比，在按缺陷类型和大小来分类方面具有更强能力。