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512×512元帧转移EMCCD图像传感器
512×512元帧转移EMCCD图像传感器
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiangqi520
【摘 要】
:
采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件。器件的像元尺寸16μm×16μm。器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×
【作 者】
:
白雪平
郑渝
李金
刘芳
陈于伟
汪朝敏
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十四研究所
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
EMCCD
帧转移
倍增增益
探测灵敏度
EMCCD
frame transfer
multiplication
sensitivity
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采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件。器件的像元尺寸16μm×16μm。器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10~(-4) lx。
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