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2010年1月11日，一年一度的国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行，党和国家领导人胡锦涛、温家宝、李长春、习近平、李克强出席大会并为获奖代表颁奖。国家科学技术奖励是我国科技界的一大盛事，更是对我国科技创新能力的一次大检阅，各大奖项的归属已成为科技界乃至全社会关注的焦点。
北方微电子“等离子刻蚀机”荣获2009年度“国家科技进步二等奖”
【摘 要】
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2010年1月11日，一年一度的国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行，党和国家领导人胡锦涛、温家宝、李长春、习近平、李克强出席大会并为获奖代表颁奖。国家科学技术奖
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2010年2期
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