等离子刻蚀机相关论文
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶......
以技术为矛、专利为盾,中芯微、和利时、四方继保等北京制造企业以不战而屈人之兵不断走向全国乃至世界.其中,中芯微的星光中国芯......
目前我国已基本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、......
由中科院微电子所微电子设备技术研究室作为合作单位之一，承担完成的“100纳米高密度等离子刻蚀机研发与产业化”项目获得了2008年......
2010年1月11日，一年一度的国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行，党和国家领导人胡锦涛、温家宝、李长春、习近平、李克强......
半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来,中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来,中国半导体行业的强劲发展不仅......
研究了采用等离子刻蚀机对硅进行深槽刻蚀中掩蔽层的选择及横向腐蚀的抑制等工艺问题.实验发现,以氟基气体作为工艺气体,铝或铝合......
<正>集成电路制造技术集成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一,是信息技术硬件的核心。其国产化正在艰难起步。高端通......
2015年到2020年，中国大陆半导体产业投资将达到680亿美元，而芯片制造设备投资额也达到500亿美元。但是我国的芯片制造设备95％依赖于进......
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介绍了智能化洗衣机的模糊控制器结构，分析了布质布量、水位、浑浊度等三种传感器的原理、结构及电路，提供了实用洗衣机模糊控制器的......
NMC508A等离子体硅刻蚀系统是适用于8英寸集成电路生产线，面向逻辑和存储等多种电路制造的先进电感耦合等离子体多反应室刻蚀系统。......
目前光伏电池产业主要是晶体硅太阳电池（约占94％的市场份额），其产业链主要有8个环节：高纯多晶硅原材料的生产、太阳能电池用单晶硅锭和......
