切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
紫外光/臭氧干法去除光刻胶速率的提高
紫外光/臭氧干法去除光刻胶速率的提高
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haley912
【摘 要】
:
本文讨论影响紫外光/臭氧干法去除光刻胶速率的几个因素、提高去胶速率的途径。在此基础上,介绍一种新型的实验装置以及应用该装置进行实验的结果。
【作 者】
:
谈凯声
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所北京
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
紫外光/臭氧
干法
清除
光刻
胶体
UV/ozone
Photoresists
Dry depolymerization
Depolymerizatio
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文讨论影响紫外光/臭氧干法去除光刻胶速率的几个因素、提高去胶速率的途径。在此基础上,介绍一种新型的实验装置以及应用该装置进行实验的结果。
其他文献
电气工程及其自动化的认识及未来发展方向
社会主义新时代,各行各业发生了翻天覆地的变化,电气工程及其自动化建设取得了长足进步。随着我国社会经济的快速发展,对电气工程及其自动化提出了更高的要求。为了更好地适
期刊
电气工程
自动化
认识
未来发展方向
多晶硅应变膜压力传感器
本文研究了多晶硅应变膜压力传感器制作技术,提出了防止多晶硅应变膜变形的工艺条件,研制出了多晶硅应变膜压力传感器。这一技术简单、与IC工艺较为兼容,适合研制集成压力传
期刊
压力传感器
多晶硅
应变膜
Pressure sensor
Polysilicon
Annealing
乡愁的味道
过完阳历新年,离春节也就不远了。人们常说:每逢佳节倍思亲。一点不假,每到这个时候,一缕乡愁萦绕在心头。今年,离家已整整30个春秋,可陪伴在父母身边共度佳节也是在20年前的
期刊
乡愁
味道
城市生活
老百姓
春节
年味
春秋
过年
用质量分离的低能离子束外延法生长β—FeSi2半导体...
采用质量分析的低能离子束外延法生长了半导体性质的β-FeSi_2外延薄膜.就我们所知,在用同类方法的研究中,国际上尚属首次.AES测量及RHEED观察肯定了外延的β-FeSi_2的存在;
期刊
离子束外延法
FeSi2
半导体
薄膜
Epitaxial growth
Spectroscopic analysis
集原位SERS传感及pH敏感于一体的CS/TiO2纳米药物递送系统
优异的带有原位监测功能的智能药物递送系统(DDS)的设计合成,对于癌症临床诊断治疗具有十分重要的意义。在该工作中,将具有表面增强拉曼散射(SERS)活性的半导体二氧化钛(TiO2
期刊
CS/TiO2
PH响应
纳米载体
SERS
CS/TiO2
pH sensitive
Nanocarrier
SERS
不同干燥条件对生姜品质的影响
以云南罗平小黄姜为原料,以水分、挥发油、姜辣素含量及外观变化情况为指标,研究了干燥温度及切片厚度对生姜干燥后品质的影响,确定了生姜较优干燥条件为温度140~160℃,切片
期刊
生姜
干燥
水分
挥发油
姜辣素
ginger
dry
moisture
essential oil
gingerol
语文作文分类指导教学的创新刍探
在语文作文教学中,基于学生的学习差异性,教师可对分类指导作文教学进行研究和创新,激发学生写作潜能,调动学生写作的积极性和主动性,提高学生写作能力。文章结合教学实践,对
期刊
小学语文
写作教学
分类指导
创新
写作能力
primary school Chinese
writing teaching
classified guidan
输电线路带电作业的安全防护措施研究
文章首先阐述了输电线路带电作业时可能对作业人员造成的危害,接着对输电线路带电作业的安全防护技术措施进行了探讨。
期刊
输电线路
带电作业
安全防护
GexSi1—x/Si应变层超晶格的折迭纵声学声子
用喇曼光谱研究了Ge_xSi_(1-x)/Si(x=0.5)应变层超晶格的折迭纵声学声子.在Ge_xSi_(1-x)和Si的层厚分别为50和250A的样品中,我们首次观察到了多达9级的折迭纵声学声子模.与理
期刊
GESI/SI
应变层
超晶格
声学声子
无碰撞磁场重联中的磁岛
在以下两个方面回顾了磁岛在无碰撞磁场重联中的作用:磁能到等离子体动能和热能的快速转化以及高能量电子的产生.重联的X点附近的电流片可能被拉伸并导致撕裂模不稳定性,并形
期刊
无碰撞磁场重联
磁岛
耗散
高能量电子
collisionless magnetic reconnection
magnetic islands
dissipa
与本文相关的学术论文