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使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正处理中得到实际应用.
高斯圆束矢量扫描作图图形剂量计算方法
【摘 要】
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使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正处理中得到实际应用.
【机 构】
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信息产业部电子第四十八研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年4期
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