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空气产品公司（AP）计划于2007年底在韩国蔚山建一套产能为500t／a的NF3装置。该装置将补充其在Hometown现有的NF3产能，使其总产能增加到2500t／a以上。NF3在半导体、平板般示器和其他电子装置的生产中主要用作一种腔室清洁气体。
AP计划在韩国建NF3装置
【摘 要】
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空气产品公司（AP）计划于2007年底在韩国蔚山建一套产能为500t／a的NF3装置。该装置将补充其在Hometown现有的NF3产能，使其总产能增加到2500t／a以上。NF3在半导体、平板般示器和其他
【出 处】
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化学推进剂与高分子材料
【发表日期】
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2007年1期
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